الهدف الاخرق من سبائك التيتانيوم Gr1 Gr2 Gr5 TiAl لطلاء PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl سبيكة التيتانيوم Titanium Sputtering Target للطلاء PVD

- نعم

1المادة المستهدفة

المادة المستهدفة هي المادة المستهدفة التي يتم قصفها من قبل الجسيمات المشحونة عالية السرعة. هناك المعادن والسبائك والأكسيدات، وما إلى ذلك. استبدال مختلف المواد المستهدفة (مثل الألومنيوم والنحاس،الفولاذ المقاوم للصدأ، الأهداف التيتانيوم، النيكل، الخ) ، يمكنك الحصول على أنظمة مختلفة من الأفلام (مثل صلبة للغاية، مقاومة للاستخدام، الأفلام سبيكة مضادة للتآكل، الخ).

(1) الأهداف المعدنية: هدف النيكل، Ni، هدف التيتانيوم، Ti، هدف الزنك، Zn، هدف الكروم، Cr، هدف المغنيسيوم، Mg، هدف النيوبيوم، Nb، هدف القصدير، Sn، هدف الألومنيوم، Al، هدف الإنديوم، In،هدف الحديد، Fe، الزركونيوم الألومنيوم الهدف، ZrAl، التيتانيوم الألومنيوم الهدف، TiAl، الزركونيوم الهدف، Zr، الألومنيوم السيليكون الهدف، AlSi، السيليكون الهدف، Si، النحاس الهدف Cu، التنتالوم الهدف T، a،الهدف الجيرمانيوم، جيه ، هدف الفضة ، أغ ، هدف الكوبالت ، كوه ، هدف الذهب ، أو ، هدف الجادولينيوم ، غد ، هدف اللانثانيوم ، لا ، هدف اليتريوم ، ي ، هدف السيريوم ، سي ، هدف التونغستين ، و ، هدف الفولاذ المقاوم للصدأ ،هدف النيكل الكرومNiCr، hafnium Target، Hf، molybdenum target، Mo، هدف الحديد والنيكل، FeNi، هدف التنغستن، W، الخ.

(2) أهداف السيراميك: هدف ITO، هدف أكسيد المغنيسيوم، هدف أكسيد الحديد، هدف نتريد السيليكون، هدف كربيد السيليكون، هدف نتريد التيتانيوم، هدف أكسيد الكروم، هدف أكسيد الزنك،هدف كبريتيد الزنك، هدف ثاني أكسيد السيليكون، هدف واحد أكسيد السيليكون، هدف أكسيد السيريوم، هدف ثاني أكسيد الزركونيوم، هدف بنتوكسيد النيوبيوم، هدف ثاني أكسيد التيتانيوم، هدف ثاني أكسيد الزركونيوم، هدف ثاني أكسيد الهافنيوم،هدف ديبوريد التيتانيوم، هدف ديبوريد الزركونيوم، هدف ثلاثي أكسيد التنغستن، هدف أكسيد الألومنيوم، أكسيد التنتالوم، هدف بنتوكسيد النيوبيوم، هدف فلوريد المغنيسيوم، هدف فلوريد اليتريوم، هدف سيلنيد الزنك،هدف نتريد الألومنيوم، هدف نتريد السيليكون ، هدف نتريد البور ، هدف نتريد التيتانيوم ، هدف كربيد السيليكون ، هدف نيوبات الليثيوم ، هدف تيتانيوم البرازيديميوم ، هدف تيتانيوم الباريوم ،هدف لانتانيوم تيتاناتالهدف من أكسيد النيكل، الهدف من البث، الخ.

2متطلبات الأداء الرئيسية للهدف

(1) النقاء

النقاء هو أحد المؤشرات الرئيسية للأداء للهدف ، لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على أداء الفيلم. ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ،متطلبات نقاء المواد المستهدفة مختلفة أيضاًعلى سبيل المثال، مع التطور السريع لصناعة الميكروإلكترونيات، نما حجم رقائق السيليكون من 6 "، 8" إلى 12 "، وتقلصت عرض الأسلاك من 0.5um إلى 0.25um، 0.18um أو حتى 0.13um، والنظافة السابقة الهدف من 99.995٪ يمكن أن تلبي المتطلبات التقنية من 0.35umIC، وإعداد خطوط 0.18um يتطلب 99.999٪ أو حتى 99.9999٪ لنقاء الهدف.

(2) محتوى النجاسة

النجاسات في الصلب المستهدف والأكسجين وبخار الماء في المسام هي مصادر التلوث الرئيسية للفيلم المستودع.الأهداف المختلفة لديها متطلبات مختلفة لمحتويات الشوائب المختلفةعلى سبيل المثال، الألومنيوم النقي والهدفات سبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لديها متطلبات خاصة لمحتوى المعادن القلوية ومحتوى العناصر المشعة.

(3) الكثافة

من أجل تقليل المسام في المواد الصلبة في الهدف وتحسين أداء الفيلم المسحوق ، عادة ما يطلب من الهدف أن يكون له كثافة أعلى.كثافة الهدف لا تؤثر فقط على معدل التدفق، ولكن يؤثر أيضا على الخصائص الكهربائية والبصرية من الفيلم. كلما زادت كثافة الهدف، كلما كان أداء الفيلم أفضل.زيادة الكثافة وقوة الهدف يسمح للهدف بمقاومة الإجهاد الحراري بشكل أفضل أثناء الرذاذالكثافة هي أيضاً أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف.

(4) حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب

المادة المستهدفة عادة ما تكون بوليكريستالية، وحجم الحبوب يمكن أن يكون في ترتيب ميكرون إلى مليمتر. لنفس المادة المستهدفة،سرعة التدفق من الهدف مع الحبوب الدقيقة أسرع من الهدف مع الحبوب الخام؛ سمك الفيلم الذي يتم تركيبه عن طريق رذاذ الهدف مع اختلاف صغير في حجم الحبوب (توزيع موحد) أكثر توحداً.

3المواد

(1)التيتانيوم النقي: GR1 GR2

(2) سبائك التيتانيوم: التيتانيوم Gr5، التيتانيوم الألومنيوم TiAl، التيتانيوم النيكل TiNi، التيتانيوم الكروم TiCr، التيتانيوم الزركونيوم TiZr، النحاس التيتانيوم TiCu الخ.

(3)المواد الأخرى: أهداف زيركونيوم، أهداف الكروم، أهداف التولفستين، أهداف النحاس، الخ.

4الغرض

يتم استخدامه على نطاق واسع في الطلاءات الزخرفية والطلاءات المقاومة للاستعمال والقراصين المضغوطة والقراصين المضغوطة في صناعة الإلكترونيات ، بالإضافة إلى مختلف طلاءات الأقراص المغناطيسية.

أفلام التونغستين التيتانيوم (W-Ti) وأفلام سبيكة على أساس التونغستين التيتانيوم (W-Ti) هي أفلام سبيكة عالية درجة الحرارة مع سلسلة من الخصائص الممتازة التي لا يمكن استبدالها.التنغستن له خصائص مثل نقطة انصهار عالية، قوة عالية ومعدل انخفاض الحراري. سبيكة W / Ti لديها معامل مقاومة منخفضة، واستقرار حراري جيد ومقاومة الأكسدة.مثل الأجهزة المختلفة تتطلب الأسلاك المعدنية التي تلعب دورا موصلتم استخدامها على نطاق واسع والبحث فيها. ومع ذلك ، فإن المعدن نفسه يحتوي على الأكسدة بسهولة ، ويتفاعل مع البيئة المحيطة ،وله صلة ضعيفة بالطبقة الكهربائيةمن السهل أن تنتشر في مواد الركيزة من الأجهزة مثل Si و SiO2، وسوف تشكل المعدن و Si في درجة حرارة أقل. المركبات، التي تعمل كشوائب،تدهور أداء الجهاز بشكل كبيرسبيكة W-Ti سهلة الاستخدام كحاجز لانتشار الأسلاك بسبب خصائصها الحرارية الميكانيكية المستقرة ، وانخفاض حركة الإلكترونات ، ومقاومة التآكل العالية والاستقرار الكيميائي ،مناسبة بشكل خاص للاستخدام في بيئات ذات التيار العالي ودرجات الحرارة العالية .

صور مفصلة

المصنع

الحزمة والتسليم:

لف المادة المستهدفة بالقطن اللؤلؤي و ضعها في صندوق خشبي طريقة التعبئة المعقولة لدينا يمكن أن تمنع المواد المستهدفة من التصادم مع بعضها البعض أثناء النقلويمكن أيضاً منع تأثير السلع الخارجية على المنتج، وضمان أن يتم تسليم المنتج بعد تسليم النزاهة.

---1.التعبئة المغلقة، ثم وضعها في علبة الكرتون أو علبة الخشب المقارنة القياسية القياسية.

ـ ـ ـ ـباستخدام علبة مخصصة حصرية مع شعار العميل، كل عبوة فردية، لمساعدة المشترين على توجيه المبيعات.

--- تقبل متطلبات العميل

تأكد من أن كل حزمة مصممة خصيصا لك.تأكد عندما تحصل على البضائع غير تالفة.